實質性分析程序的本質還是分析程序，即根據財務數據之間以及財務數據和非財務數據之間的內在關系進行分析，並得到分析結論，主要目的是提供方向性指導作用。
細節測試是對各類交易、賬戶余額、列報的具體細節進行測試，目的在於直接識別財務報表認定是否存在錯報。
實質性分析程序不僅僅是細節測試的壹種補充，在某些審計領域，如果重大錯報風險較低且數據之間具有穩定的預期關系，可以單獨使用實質性分析程序獲取充分適當的審計證據。
實質性分析程序不是必須執行的程序，但是細節測試是必須執行的程序。