春秋戰國時期，屬於百越地，早在秦漢時期，這裏已成為頗具規模的農漁業民聚居村落，鄉人稱為“季華鄉”。唐貞觀二年（628年），因在城內的塔坡崗上挖掘出三尊佛像，遂立石榜稱“佛山”而得名。宋元豐年間推行保甲制度，鄉分都堡，佛山堡為季華鄉之首。明清年間，佛山與湖北的漢口鎮、江西的景德鎮和河南的朱仙鎮並稱我國的“四大名鎮”，與湖北漢口鎮、江西景德鎮、河南朱仙鎮並稱為我國“四大名鎮”，與北京、漢口、蘇州並稱為“天下四大聚”。清雍正十年（1732年），佛山從南海縣分出，設“佛山直隸廳”，直隸廣州府。雍正十二年，改設廣州府同知於佛山，為廣州府佛山分府，行政上仍屬於南海縣。
民國元年（1912年），佛山正式改鎮建制，南海縣署也從廣州遷至佛山。
1925年，國民政府將佛山從南海縣分出，成立佛山市。
1927年又撤消佛山市建制，重新劃為南海縣屬壹鎮。
1941年，設立佛山特別區，下轄佛山、富福、汾文三鎮。
1946年，佛山三鎮合並重組為佛山鎮。
1949年10月31日，由南海縣析佛山鎮置佛山市。
1950年7月1日改市為鎮，重歸南海縣管轄。
1951年6月26日佛山鎮改鎮為市，設立佛山市（指現祖廟街道）。
1954年6月，中***粵中區黨委、粵中行署由江門市遷入佛山市大福路10號。
1956年設立佛山專區，轄佛山、江門、石岐3市和中山等13縣。
1966年，佛山市升為地級市。
1970年佛山專區更名為佛山地區，轄佛山、江門2市和中山等12縣。
1983年6月開始實行市領導縣的體制，轄中山等5縣。
1983年6月1日地市合壹，粵中行署和佛山市政府合並，成為廣東下轄的壹個地級市，這才是今天的佛山市有歷史以來的歷史開始。順德縣、南海縣、高明縣、三水縣、中山縣正式隸屬佛山市的歷史開始。後中山市由於是廣東四小龍和遠離佛山市，擴權設為地級市，正式脫離佛山市管轄。
1992-1994年，順德、南海、三水、高明先後撤縣設市（縣級），由佛山代管。
1999年，撤銷管理區辦事處，設立村委會工作；同時調整了部分居委會。
1999年12月31日，佛山市下轄城區、石灣區兩區，代管南海、順德、高明、三水四市。
2002年12月8日，調整佛山市行政區劃：（1）撤銷佛山市城區和石灣區，設立佛山市禪城區。以原佛山市城區、石灣區和原南海市南莊鎮的行政區域為禪城區的行政區域。區人民政府駐大福南路。（2）撤銷縣級南海市，設立佛山市南海區。以原縣級南海市的行政區域（不含南莊鎮）為南海區的行政區域。區人民政府駐南海大道。（3）撤銷縣級順德市，設立佛山市順德區。以原縣級順德市的行政區域為順德區的行政區域。區人民政府駐德民路。（4）撤銷縣級三水市，設立佛山市三水區。以原縣級三水市的行政區域為三水區的行政區域。區人民政府駐人民三路。（5）撤銷縣級高明市，設立佛山市高明區。以原縣級高明市的行政區域為高明區的行政區域。區人民政府駐文匯路。禪城區、南海區、順德區、三水區、高明區於2003年1月8日正式掛牌。
2009年5月，佛山市轄5個市轄區，11個街道、20個鎮。