其中，接觸式測量常用於測量機械加工產品、壓制產品和金屬薄膜。為了分析工件的加工數據或為逆向工程提供工件的原始信息，往往需要用三坐標測量機掃描工件表面的數據點。以三坐標測量機為例，介紹了三坐標測量機的幾種常用掃描方法和操作步驟。
三坐標測量機的掃描操作是利用PC DMIS程序采集被測物體表面特定區域的數據點，這些數據點可以是直線、面片、零件的截面、零件的曲線或距邊緣壹定距離的圓周線。掃描類型與測量模式、探頭類型以及是否有CAD文件有關。控制屏幕上的“掃描”選項由狀態按鈕(手動/DCC)決定。如果采用DCC法測量，且有CAD文件，可用的掃描方式有“開線形”、“閉線形”、“貼片”、“斷面”、“周長”掃描；如果用DCC法測量，只有線框CAD文件，可以選擇“開放線性”、“封閉線性”、“貼片”等掃描方式。如果采用手動測量模式，只能使用基本的“手動TTP掃描”模式；如果采用手動測量，使用剛性探頭，可用選項有“固定增量”、“可變增量”、“時間增量”和“體軸掃描”。