三坐標測量儀是指能夠在壹個六面體空間內表示幾何形狀、長度和周向分度的測量能力的儀器，也稱為三坐標測量機或三坐標測量床。
三坐標測量儀也可以定義為“帶有探測器的儀器，該探測器可以在三個方向上移動，並且可以在三個相互垂直的導軌上移動。探測器以接觸或非接觸方式傳輸信號，三軸位移測量系統(如光柵尺)通過數據處理器或計算機計算工件的各點(x，y，z)並測量各種功能”。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度和輪廓精度。