註冊會計師獲取審計證據的具體審計程序如下：
1、檢查記錄和文件：註冊會計師檢查被審計單位的記錄和文件，包括財務報表、會計賬簿、會計憑證、合同、發票、收據、銀行對賬單等，以獲取審計證據。
2、檢查資產和設備：註冊會計師檢查被審計單位的資產和設備，包括現金、存貨、固定資產、在建工程等，以獲取審計證據。
3、詢問管理層和員工：註冊會計師向被審計單位的管理層和員工進行詢問，了解被審計單位的業務、管理、財務等情況，以獲取審計證據。
4、觀察和檢查：註冊會計師觀察被審計單位的業務流程和操作情況，檢查被審計單位的實物資產和設備，以獲取審計證據。
5、分析程序：註冊會計師運用各種分析方法，對被審計單位的財務報表、賬戶余額、交易事項等進行比較、趨勢分析、比率分析等，以獲取審計證據。
6、函證程序：註冊會計師向被審計單位的外部單位或個人發送詢證函，以確認被審計單位的財務報表中的信息是否準確無誤，以獲取審計證據。
7、重新執行程序：註冊會計師對被審計單位的交易事項進行重新執行，以驗證其真實性和準確性，以獲取審計證據。
8、細節測試程序：註冊會計師對被審計單位的交易事項進行細節測試，以驗證其真實性和準確性，以獲取審計證據。
審計證據的主要作用：
1、審計證據是審計意見的支柱。
2、審計證據是審計人員形成審計結論的基礎。
3、審計證據是解除或追究被審計人經濟責任的依據。
4、審計證據是控制審計工作質量的關鍵。