1.潔凈度:潔凈度是衡量潔凈室潔凈度最重要的指標，表示潔凈室的潔凈度，具體數值用每立方米的塵埃粒子數來表示。10萬級潔凈車間，每立方米空氣中的塵埃粒子數應小於654.38+萬。
2.溫濕度:無塵車間的溫濕度需要保持在恒定的範圍內，以保證產品的質量和生產效率。壹般情況下，無塵車間的溫度控制在20-24℃，相對濕度控制在50%-60%。
10萬級無塵車間
3.壓力:為了防止外界灰塵進入潔凈室，潔凈室需要保持正壓。壓差是衡量無塵車間壓力平衡的指標。通常，壓差不應大於5Pa。
4.噪音:潔凈車間的噪音也是壹個重要指標。過大的噪音會影響工作人員的身心健康和工作效率。壹般情況下，潔凈車間的噪聲應控制在70-90dB之間。
10萬級無塵車間
5.照明:無塵車間的照明需要保證足夠的亮度，以方便工作人員的工作和產品的質量。壹般來說，無塵車間的照度應保持在500-700勒克斯之間。
6.空氣過濾:無塵車間的空氣需要進行高效過濾，去除空氣中的塵粒。壹般來說，無塵車間需要高效過濾器，過濾效率要達到99.9%以上。
10萬級無塵車間
7.設備:無塵車間的設備也需要滿足相關的標準和要求，如潔凈工作臺、風淋室、透射窗等設備需要經過嚴格的檢測和驗收，確保其性能和質量符合要求。
8.人員管理:無塵車間的操作人員需要經過嚴格的培訓和管理，確保其操作規範，著裝整潔，遵守各項管理制度。